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超精细加工技术与设施图书消息

这是一本由文秀兰等作者共同编撰的专业书籍，书名是《超精细加工技术与设施》，它附属于光机电一体化丛书系列。

该书由享有盛誉的化学工业出版社出版，其共同的ISBN号为98。

这本书的出版日期定在2006年5月1日，这象征着它曾经积攒了丰盛的学术沉淀。

本书共分为1个版次，内容详实，合计341页，装帧方式为简装，尺寸适中，为16开本设计，繁难读者浏览和钻研。

从技术专业性来看，这本书属于大学教材类别，特意适宜对精细加工技术感兴味的初等教育在校生以及关系畛域的钻研人员参考。

它涵盖了超精细加工的深度通常和通常运行，为读者提供了深化了解与把握这一畛域的贵重资料。

无论是通常教学还是实操钻研，这本书都是一份无法多得的参考资料。

精细和超精细加工技术的图书消息

超精细加工分类

超精细加工是一类对资料外表启动极端精细解决的技术，重要包含超精细车削、镜面磨削和研磨等方法。

在超精细车床上，驳回单晶金刚石车刀启动极庞大的切削，如对1微米厚度的金属启动加工，罕用于制造高精度、外表润滑的整机，如核聚变装置中直径达800毫米的非球面反射镜，其精度可到达惊人的0.1微米，外表毛糙度低至Rz0.05微米。

当加工精度需到达纳米甚至原子级别时，传统的切削方法已无法满足，此时须要借助特种加工技术，如机械化学抛光、离子溅射、离子注入、电子束曝光、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等，这些方法准许对外表层的物质去除或减少启动极端准确的管理。

但是，要成功超精细的加工成果，精细的设施和准确的管理系统是必无法少的，例如在制造超大规模集成电路的环节中，电子束曝光技术就依赖于上班台定位精度高达±0.01微米的超精细加工设施，经过管理光致抗蚀剂的聚合或合成，成功准确的制版环节。

20世纪60年代为了顺应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的须要而开展起来的精度极高的一种加工技术。

到80年代初，其最高加工尺寸精度已可达10纳米（1纳米=0.001微米）级，外表毛糙度达1纳米，加工的最小尺寸达 1微米，正在向纳米级加工尺寸精度的指标行进。

纳米级的超精细加工也称为纳米工艺(nano-technology) 。

超精细加工是处于开展中的跨学科综合技术。