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• 超精细加工技术与设施目录
• 第1章 超精细加工技术概论
• 第2章 超精细机械加工方法
• 超精细加工分类
• 什么是超精细加工技术?它包含哪些方面?

超精细加工技术与设施目录

第1章 超精细加工技术概论

1.1 超精细加工内容包含范围、方法，如纳米加工技术，它的关键性与需求。

1.3 关键技术涵盖超精细主轴、导轨、传动系统、刀具，以及精细测量和微进给技术等，环境管理和数控技术也是关键环节。

1.4 开展现状与趋向，如技术开展状况、前沿钻研、开展趋向及新义务。

第2章 超精细机械加工方法

2.1 超精亲密削加工触及概述、机理、特点及保障品质的方法，如硬脆光学晶体资料的加工。

2.2 超精细磨削加工，如磨削机理、工艺特点和不凡资料的加工技术。

2.3 超精细研磨与抛光，包含研磨和抛光的原理以及影响起因。

超精细加工分类

超精细加工是一类对资料外表启动极端精细解决的技术，关键包含超精细车削、镜面磨削和研磨等方法。

在超精细车床上，驳回单晶金刚石车刀启动极庞大的切削，如对1微米厚度的金属启动加工，罕用于制造高精度、外表润滑的整机，如核聚变装置中直径达800毫米的非球面反射镜，其精度可到达惊人的0.1微米，外表毛糙度低至Rz0.05微米。

当加工精度需到达纳米甚至原子级别时，传统的切削方法已无法满足，此时须要借助特种加工技术，如机械化学抛光、离子溅射、离子注入、电子束曝光、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等，这些方法准许对外表层的物质去除或减少启动极端准确的管理。

但是，要成功超精细的加工成果，精细的设施和准确的管理系统是必无法少的，例如在制造超大规模集成电路的环节中，电子束曝光技术就依赖于上班台定位精度高达±0.01微米的超精细加工设施，经过管理光致抗蚀剂的聚合或合成，成功准确的制版环节。

20世纪60年代为了顺应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的须要而开展起来的精度极高的一种加工技术。

到80年代初，其最高加工尺寸精度已可达10纳米（1纳米=0.001微米）级，外表毛糙度达1纳米，加工的最小尺寸达 1微米，正在向纳米级加工尺寸精度的指标行进。

纳米级的超精细加工也称为纳米工艺(nano-technology) 。

超精细加工是处于开展中的跨学科综合技术。

什么是超精细加工技术?它包含哪些方面?

超精细加工技术是一种加工精度极高的现代加工技术。具体如下：

1、其加工精度可达纳米级（1纳米=0.001微米），外表毛糙度也可到达纳米级别。

这种技术宽泛运行于精细仪器制造、电子、航空、航天等工业畛域。

超精细加工技术大抵可分为两类，即超精度切削加工和超精细特种加工。

2、超精度切削加工包含超精细车削、镜面磨削、研磨等，而超精细特种加工则包含机械化学抛光、电子束曝射、激光束加工、离子溅射和离子注入、金属蒸镀及分子束外延等。

这些技术与其余高新技术相互推进，独特开展，尤其它们的综合开发，越来越遭到人们的注重。

超精细加工技术的运行

1、超精细加工技术被宽泛运行于国防、航空航天、计量检测、动物医学、仪器等畛域。

比如在航空航天畛域中，超精细加工技术被用于制造飞机和火箭等航行器的关键零部件，如涡轮叶片、紧缩机盘等。

2、在动物医学畛域，超精细加工技术被用于制造人工关节、牙种植体等医疗植入物；在仪器畛域，超精细加工技术被用于制造高精度测量仪器和迷信试验仪器等。

此外，超精细加工技术还在光学、电子、汽车、机械制造等畛域获取宽泛运行。

3、在光学畛域中，超精细加工技术被用于制造高精度光学元件和光学仪器；在电子畛域中，超精细加工技术被用于制造集成电路板和微电子器件；在汽车畛域中，超精细加工技术被用于制造发起机和变速器等关键零部件。

4、在机械制造畛域中，超精细加工技术被用于制造高精度机械整机和机械设施。

超精细加工技术的运行范围十分宽泛，随着科技的始终提高和运行需求的始终提高，超精细加工技术的运行前景将愈加宽广。