记者石飞月在本报（chinatimes.net.cn）进行报道，报道地点在北京。

2025 年已至，国内的半导体并购潮仍在持续。北方华创在 3 月 11 日发布了一则公告，此公告表明该公司打算通过受让股份的方式，从而获得对沈阳芯源微电子设备股份有限公司（即“芯源微”）的控制权。北方华创采取此举的目的是将业务延伸至光刻设备领域，以完善其在半导体市场的产业链布局。当下，除了光刻机和 CMP 抛光之外，芯片制造所需要的核心设备，该公司都有进行布局。业内人士指出，企业在发展成熟之后，通过并购来整合资源以及提升市场占有率，这是半导体产业发展的必然趋势，同时也是中国半导体企业走向世界所不可或缺的步骤。

受让两大股东全部股份

北方华创公告称，该公司近期召开了第八届董事会第二十次会议。在这次会议上，审议并通过了《关于协议受让沈阳芯源微电子设备股份有限公司部分股份的议案》。公司决定以现金作为对价，通过协议的方式受让沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）所持有的芯源微 9.49%的股份，数量总计 19064915 股。受让价格为 88.48 元/股，交易金额约为 16.87 亿元。芯源微公告显示，3 月 10 日，先进制造与北方华创签署了《股份转让协议》。

北方华创的持股比例为 9.49%，但这难以满足其需求。该公司计划受让芯源微更多的股份。北方华创于公告里表明，沈阳中科天盛自动化技术有限公司（即“中科天盛”）持有芯源微 8.41%的股份，数量总计 16899750 股。该公司打算以公开征集转让的方式，通过协议转让其持有的芯源微全部股份。为了能更好地发挥协同效应，北方华创将会积极地通过参与公开挂牌竞买等方式，持续增持芯源微的股份，并争取获得对芯源微的控制权。

目前，芯源微没有控股股东和实际控制人。持股 5%以上的股东有辽宁科发实业有限公司，其持股比例为 10.61%；有先进制造，持股比例为 9.49%；还有中科天盛，持股比例为 8.41%。倘若北方华创成功受让先进制造与中科天盛所持有的芯源微股份，那么该公司的持股比例将会达到 17.9%，从而成为芯源微的第一大股东。

本次股权转让事项若要成功实施，需要取得国有资产监督管理部门的批准。同时，需经上海证券交易所进行合规性确认。另外，还需要先解决先进制造实控人郑广文曾做出的限售芯源微股份的承诺问题，以及先进制造部分股份存在质押的问题。

《沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》显示，郑广文做出过承诺。他承诺在任职期间，每年转让的股份不会超过本人直接和间接持有芯源微股份的总数的 25%。并且在离职半年内，不会以任何方式转让本人直接和间接持有的股份。先进制造转让的是芯源微股份，其实质是郑广文转让他间接持有的芯源微股份。所以，本次交易需要芯源微股东大会进行审议，以通过豁免郑广文对标的股份的自愿性股份限售承诺义务这一事项。

拓展半导体业务边界

在国内的半导体产业领域，北方华创占据着龙头的地位。在芯片制造所需要的核心设备方面，除了光刻机和 CMP 抛光之外，该公司对其他的核心设备都有进行布局。

芯源微能够弥补北方华创光刻设备的短板。芯源微于 2002 年成立，其主要业务是进行半导体专用设备的研发、生产与销售，所生产的产品主要涵盖光刻工序涂胶显影设备以及单片式湿法设备。涂胶显影设备在集成电路制造过程中是不可或缺的关键处理设备。它主要与光刻机配合进行作业。通过机械手，晶圆能在各系统间传输和处理。这样就能完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。

全球前道涂胶显影设备市场长期被日本厂商高度垄断，国内在这方面少数几个领域的国产化率仍处于较低水平，属于“卡脖子”领域。芯源微是目前国内仅有的能够提供量产型前道涂胶显影机的厂商，现已完成在前道晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点的全面覆盖，并且能够持续向更高工艺等级进行迭代。

北方华创于公告里表明，本次交易是以公司发展战略为依据而开展的，其目的是发挥协同效应，提升股东回报。在半导体装备业务板块方面，北方华创的主要产品涵盖刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗、快速退火以及晶体生长等核心工艺装备，而芯源微的主要产品包含涂胶显影设备等核心工艺装备。双方都属于集成电路装备行业，然而它们的产品布局存在差异，这种差异是互补的，这对双方协同效应的发挥是有利的。

华福证券在最新研报中称，从技术与工艺角度来看，涂胶显影设备的均匀性和稳定性会对刻蚀精度产生直接影响。所以，通过融合后的联合研发以及工艺参数的匹配，能够显著提升半导体制造中众多设备之间的协同性和精密性。在市场方面，这两家企业在下游覆盖领域既存在重叠，也有互补之处。融合之后，既可以加深客户的粘性，又能够快速拓展市场空间，优化资源配置，并且有效降低成本，从而加速国产设备的渗透。

《华夏时报》记者采访了北方华创方面，询问接下来北方华创在光刻领域是否还有并购计划。截至发稿时，对方未给出回复。

芯片产业并购潮迭起

半导体的工艺较为复杂，设备的种类有很多，并且技术门槛极高。正因如此，并购就成为了海外巨头去追求协同效应以及扩展新领域时最常使用的手段。根据半导体产业纵横转引 CINNO IC Research 的数据可知，2024 年全球前 5 名的半导体设备厂商分别是应用材料、ASML、TEL、Lam 和 KLA。它们的合计收入约占全球半导体设备市场的 85%。这些企业都是通过并购的方式来补充自身的短板，提升核心技术水平，扩大市场占有率，并且逐步定型，最终成为了稳定的平台类半导体设备企业。

对于国内半导体产业而言，在外部制裁不断增加以及内部国产化率急需加快提升的这种背景之下，并购重组成为了行业整合资源以及突破技术瓶颈的重要途径，所以在这两年，并购的热潮此起彼伏。菁锐智库的专家袁博，他是正高级工程师。袁博告诉《华夏时报》的记者，当企业发展到成熟阶段后，通过并购这种方式来整合资源以及提升市场占有率，这是半导体产业发展过程中必然会出现的趋势。同时，这也是中国半导体企业走向世界所必须要经历的步骤。中国半导体行业出现了并购潮，这表明我国半导体行业已迈入做大做强的阶段。在接下来的一段时间里，中国有可能在不同领域诞生更多大型和超大型的半导体集团。

北方华创能成为国内半导体设备的龙头，并购这一手段起到了重要作用。2017 年，北方华创花费 1.04 亿元，将美国集成电路清洗机装备公司 Akrion Systems LLC 收购。2020 年，该公司又花费 0.64 亿元，收购了北广科技旗下与射频技术应用业务相关的资产。

近几年，国产半导体产业在国产化替代潮的推动下迎来了发展机会。北方华创的业绩表现十分亮眼。该公司公布了 2024 年业绩预告，其营收在 276 亿元到 317.8 亿元之间，比上年增长了 25%到 43.93%。归母净利润为 51.7 亿元到 59.5 亿元，同比增长 32.6%到 52.6%。芯源微去年业绩情况不佳。其归母净利润与去年同期相比下降了 15.85%。原因是该公司去年持续提升研发投入的力度，导致研发费用有所增加。同时，随着公司规模的不断扩大，成本费用也在增加。

华福证券在研报中总结，当前全球半导体产业竞争激烈且技术封锁严峻。在此形势下，本次强强联合有希望成为突破困境以及加速国产化落地的关键一步。设备企业会从重复性较高的单点竞争转变为更良性的平台竞争。同时，半导体行业的整合将开始向各个环节扩散，进而开启新一轮的资源优化以及竞争格局的重塑。